$count_ban=1

Irida - кластерная вакуумная установка

$count_ban=3
РАЗДЕЛ : ОбъявленияОБЪЯВЛЕНИЙ
Услуги 1499
Оборудование / материалы 5615
Предложение
Объявление:
Irida - серия кластерного вакуумного оборудования на основе уникального источника энергосберегающего источника плазмы высокой плотности, которая реализует процессы вакуумного ионно-плазменного нанесения, травления и очистки изделия. Разработанная кластерная установка с тремя процессными модулями на основе масштабируемого и энергосберегающего источника ПВП используется для реализации следующих процессов: - нанесение различных покрытий, функциональных слоев и тонкопленочных структур с заданными (регулируемыми) физико-химическими свойствами; - очистка, модификация и имплантация поверхности различных материалов с целью придания им требуемых физико-химических свойств; - высокоразрешающее (с субстананометровым разрешением) травление и проявление различных материалов в маршрутах современной фотолитографии и наноимпринт литографии; - глубокое реактивное ионное травление в маршрутах микро- и наноприборов с трехмерной интеграцией.
Состояние: новое
Наличие: в наличии
Местонахождение: Москва
Автор: Марина Александровна Беккер
(499) 710-60-00, 710-60-11
bekker@esto-vacuum.ru
Организация: ЭСТО-Вакуум
+7(499)710-60-00, 710-60-11
http://www.esto-vacuum.ru/
marketing@esto-vacuum.ru
$count_ban=1